一、配制前准备工作
标样发生器开机预热
接通标样发生器电源、零气气源,开启整机温控模块,按渗透管 / 液态挥发源要求设定恒温槽温度,稳定预热 30~60min,保证温度无波动。
气源检查与预处理
确认零气(高纯氮气 / 洁净合成空气)压力、流量达标,检查前置除水、除烃、除尘过滤器无失效、积水油污;吹扫整条气路 5~10min,排空管路残留杂质气体。
耗材核对安装
根据目标气体种类装入对应渗透管、液体挥发瓶,确认耗材型号、标称发生速率与所需浓度匹配;密封恒温腔体,检查密封圈无漏气、老化。
参数计算预设
依据稀释气流量、发生源释放速率,计算目标浓度,在操作面板录入稀释主路、旁路流量参数。
二、气密性检漏步骤
关闭出气端口,调高系统内部压力保压 3~5min;
观察压力数值无明显下降,即为气路无泄漏;若压降超标,逐段检查接头、腔体密封垫、阀件;
检漏完成后泄压,恢复出气通路。
三、稀释流量调节与配比设置
启动零气供给,分别调节载气(携带标样蒸汽)、稀释气两路流量计;
按照计算浓度匹配两路气体流量,载气流量保持稳定小流量,稀释气为主路大流量混合;
开启内部混合腔体,使载气携带的特征气体与零气充分混匀。
四、气体平衡稳定阶段
流量、温度参数固定后持续通气平衡 20~40min;
观察后端配套分析仪读数,待浓度数值连续 10min 无漂移、波动,代表混合标气浓度稳定;
若浓度偏高 / 偏低,微调稀释气总流量,重新等待平衡。
五、浓度核验与输出使用
采用有证标准气体或经校准的分析仪对标发生器输出气体,核验实际浓度误差;
误差在允许范围内,即可将输出标样气体接入待测分析仪,开展零点、量程校准;
记录配制参数:温度、载气流量、稀释总流量、平衡时长、实测浓度、环境温湿度。
六、实验结束停机操作
先关闭渗透源恒温加热模块,保持零气持续吹扫气路 30min,排空腔体与管路内残留特征气体;
依次关闭流量计、气源减压阀,切断设备电源;
长期停用需取出渗透管 / 液体源,密封避光冷藏存放,腔体干燥封存。
七、多浓度梯度配制补充流程
基础稳定浓度配好后,仅改变稀释气流量,不改动恒温温度与载气流量;
每调整一次流量,必须等待充分混匀平衡后再测浓度;
由高浓度向低浓度依次配制,减少管路残留气体交叉干扰。
八、配制关键注意事项
温度是浓度核心影响因素,全程禁止触碰恒温槽、改变设定温度;
渗透管易碎、易挥发,拆装全程佩戴无尘手套,禁止手直接接触管体;
高活性、腐蚀性标气配制完成后,延长吹扫时间,避免腐蚀阀件和气路;
管路避免使用橡胶软管,防止气体吸附、渗透造成浓度失真,优先 PTFE、不锈钢管路。